星空体育app官网下载-三星电子率先在DRAM领域导入干式光刻胶技术
2025-08-22
来源：星空体育app官网下载
三星电子在DRAM内存领域取得了重要技术突破，成为首家引入干式光刻胶（Dry PR）技术的公司。根据韩媒ETNews的报道，这项新技术将应用于即将推出的第六代10纳米级工艺（1c nm）。干式光刻胶与传统的湿式光刻胶相比，具有显著优势。传统湿式光刻胶需要使用溶剂进行旋涂和冲洗，而干式光刻胶则直接沉积在晶圆表面，避免了在去除光刻胶时液体表面张力对图案完整性的影响。此外，干式光刻胶还提供了更高的曝光效
