4月8日，华海清科发布公告，近日公司第1000台CMP装备正式出机并发往国内集成电路龙头企业。
根据公告，华海清科CMP装备已广泛应用于集成电路、功率半导体、三维集成与先进封装、化合物半导体、新型显示、衬底材料等领域，实现国内集成电路制造产线广泛覆盖，并服务全球客户。
据公司介绍，其产品已从成熟制程批量进入国内先进制程大生产线，部分核心技术优于国际先进水平，完成从并跑到领跑的跃升，并构建起覆盖CMP装备的核心自主知识产权体系。
华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商，主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、边缘抛光装备、离子注入装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，基本实现了“装备+服务”的平台化战略布局。